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绒面照片,硅片清洗与制绒

互联网 2021-05-06 08:48:19

考虑到制绒工艺段对整个生产线的重要作用,针对影响制绒反应的因素,对设备工艺段的设计进行更加精细的调整: 1.作为化学反应,首先应考虑反应的条件,即化学液的温度及各组分的浓度等。现在的工业生产对制绒工艺温度控制提出了较高的要求,为了保证反应条件的一致性,温控精度要在±1℃内,整个工艺槽内化学反应才能更稳定和可控,实现有效控制溶液的反应速度和挥发量,便于工艺调整。考虑到这个因素,制绒槽内选用了响应速度快、精度高的PTl00铂电阻作为工艺槽内的温度传感器,测量及显示精度为0.1℃,可实时显示槽内溶液温度。同时,加热系统的设计也充分考虑了均匀性的要求,选用特别定制的进口316L不锈钢材料的加热管,采用分立式结构,单一加热管损坏不影响其他系统,同时采用螺纹式接口设计,便于维修及更换。为防止加热管周围局部温度过高造成溶液温度分布不均匀,在加热管区域上部安装了热量匀流隔板,再加上槽体配置的溶液循环系统,使得溶液经过匀流隔板后的均匀性大大加强,根据实际工艺中工艺人员的实测结果统计,槽内各处溶液温度的偏差不超过±0.3℃。

2.考虑到在实际生产中,操作人员要经常更换溶液,为了保证整条工艺线的生产效率,对于加热系统的容量也做了仔细的考量。加热功率过高,会引起槽内溶液温度波动太大;功率太小则可能造成每次换液后溶液升温时间过长影响生产效率。考虑这种情况,我们采用在线加热方式实现换液时直接注入70℃左右的DI水,槽内配置12 kW的加热管,以实现维持工艺温度的要求。相比传统的外接DI水预热槽的方式,在线加热方式具有升温快(3 min内可实现将流量为3.5 L/min的DI水由室温升至70℃,后续持续保持出水温度在70℃左右)、体积小(可安装在设备内部,减少净化厂房占地面积)、对DI水电阻率影响小(在线方式可最大限度地降低DI水因长时间储存而引起的电阻率下降等问题)等优势。有效的减少生产过程的配液时间,提高了生产效率。

3.槽体结构对溶液均匀性的影响,主要包括循环系统分布的均匀性和N:鼓泡的细密性,对工艺槽内硅片绒面质量的稳定性及均匀性有很大影响。循环系统包括循环入口、循环泵、管路系统、底部多通道注入管及匀流隔板等。选用进口磁力循环泵及进口PP管件,保证循环系统的效果及洁净度。底部的多通道注入管及匀流隔板设计保证了循环效果的均匀性,循环角度可根据需要进行调整。经实际工艺验证,循环功能启动后溶液以平稳的波纹状实现循环。循环的角度全面,流向与硅片平行。同时N:鼓泡功能细密,能够覆盖硅片所在的所有区 域。可满足批量处理工艺中对硅片表面绒面效果一致性的要求。

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